■跟踪角度
下降 上升
相对探针的进给方向，探针可以按照测量物的形状上升或下 降的极限角度叫做跟踪角度。探针顶端角度为 12°的切面探 针 （图） 时，上升角度 77°，下降角度 87°，如果是圆锥形探针
（30°圆锥） 的话，极限倾斜度会变得缓和。表面上看虽然是 77°， 但是，受上行斜面表面粗糙度的影响，会部分存在 77°以上 的斜面，测力也会受到影响。
■探针半径补正
根据探针的顶端半径 （0.025mm），记录图形会成为在测量物表 面上滚动的球体的中心轨迹。通过对这一探针的顶端半径进 行数据处理上的补正，可以得到的测量值和形状记录。
探针
记录图形
测量物的轮廓
r： 探针半径
M：测量倍率
用记录计从模板和刻度上读取轮廓形状时，需要根据测量倍 率预先补正测头半径值。
■圆弧变形
测头做圆弧运动时，会在记录图形的 X 轴方向上出现变形误 差。补正圆弧变形的手段有
①机械补正方法
②电子补正方法
■精度
与模拟记录计的全刻度作比较，多用 ±% 来表示。
（例） 倍率精度 （精度） Z 轴 ±0.25% ／全刻度
A3 模拟记录
（250mm 是 A3 复印纸的纵向长度）
假 设 记 录 纸 上 误 差 为 ±0.625mm， 测 量 倍 率 为 10 倍， 那 么， 读取值则为 0.625mm/10。
※如果是用数据处理装置进行解析，并且 Z 轴检测装置上内
置光栅尺的机型 （CV-H, CV 系列），那么倍率精度的显示就不是 百分比，而是光栅尺 （X 轴、Z 轴） 各自的指示精度。
■安全装置 由于轮廓形状的斜面角度大或者有毛刺存在，探针顶端出现 超负荷时，为了防止探针损伤，可以自动停止运转，并发出 蜂鸣警报。一般按进给方向 （X 轴方向） 的负荷和上下方向 （Z 轴方向） 的负荷分别装备。
■圆弧运动、直线运动 这是探针上下动作时，测头划出的轨迹，有圆弧和直线两种。 做直线运动时，机械构造复杂，做圆弧运动时，探针的上下 移动量较大，会由于圆弧变形 （ ） 而导致记录图形出现误差。
（参照左下图）
■ Z 轴检测方式
X 轴驱动检测一般使用数字光栅尺进行检测。Z 轴检测方式有 模拟方式 （差动变压器） 和数字光栅尺方式两种。
模 拟 方 式 中，Z 轴 分 辨 率 会 随 测 量 倍 率 和 测 量 范 围 而 变 化。 数字光栅尺方式随光栅尺的分辨率。一般来说，数字光栅尺
方式精度较高。
探针
测量臂
支点
圆弧变形
③有通过软件演算来补正的方法。在对上下方向上移动量较大
的测量物进行高精度测量时，需要补正圆弧变形。
